但在開關分斷操作過程中，在電弧作用、電暈、火花放電和局部放電、高溫等因素下，SF6氣體會進行分解，它的分解遇到水分后會變成腐蝕性電解質(zhì)，其中有些高毒性分解物，如SF4、S2F2、S2F10、SOF2、HF及SO2，它們會刺激皮膚、粘膜，如果吸入量大，還會引起頭暈和肺氣腫 ，甚至致人死亡。充有SF6氣體的設備大多安裝在室內(nèi)，空氣流通速度相對較慢，如果SF6氣體一旦泄漏，將在室內(nèi)沉積不易散發(fā)，SF6氣體本身又是無色無味的，泄漏后不易被發(fā)覺。另外由于SF6氣體的比重較氧大，往往是沉積于低層空間，容易造成局部缺氧，使人窒息。這樣就會對現(xiàn)場工作人員造成極大的安全隱患。
一方面由于SF6其優(yōu)異的絕緣、滅弧特性，逐漸使SF6設備被廣泛地應用于高中壓領域，而另一方面，SF6氣體本身對設備、環(huán)境，尤其是現(xiàn)場工作人員生命健康安全造成危害的可能性也越來越大。為了確保設備的正常安全運行，充分保障現(xiàn)場人員的身體健康和人身安全，必須采取有效手段對設備區(qū)域的SF6氣體泄漏進行監(jiān)測，防止意外事故發(fā)生。